Funktionale Dünnschichten - neue Anwendungsfelder durch Kieler Nanolabor

Der Lehrstuhl für Anorganische Funktionsmaterialien beschäftigt sich mit der Entwicklung von "Smart Materials" - unter der Verwendung kostengünstiger Herstellungsverfahren - und deren Anwendungen in der Mikro- und Nanosystemtechnik. Smart Materials wandeln elektrische Energie direkt in mechanische Energie um oder umgekehrt und eignen sich daher für die Herstellung miniaturisierter Aktoren oder Sensoren. Diese kleinen und leicht zu integrierenden, intelligenten Mikro-Aktoren oder -Sensoren versprechen interessante Anwendungen in der Automobil-, Informations-, Bio- oder Medizintechnik.

Die Dünnschichttechnologie ist dabei ein attraktiver Ansatz diese Werkstoffe herzustellen, da diese Technologie die Skalierung in den Mikro- oder Nanobereich bei Wahrung der Eigenschaften ermöglicht. Das neugeschaffene Kieler Nanolabor bietet die experimentellen Möglichkeiten zur Herstellung der Smart Materials-Bauteile durch Dünnschichttechnik, Lithographie und Ätztechnologien sowie die strukturelle und funktionelle Charakterisierung. Der Vortrag zeigt die Möglichkeiten des Kieler Nanolabors am Beispiel ausgewählter Projekte.